常用的高精度激光式位移傳感器主要是采用激光三角測(cè)量法原理制成的,激光發(fā)射器將激光射向被測(cè)物體表面,位移傳感器內(nèi)部的線性相機(jī)接受經(jīng)物體反射回來的激光,通過內(nèi)部數(shù)字信號(hào)處理器計(jì)算出傳感器和被測(cè)物體之間的距離。測(cè)量范圍為0~2m;測(cè)量精度達(dá)到0.2μm/m;線性度達(dá)到0.1%,優(yōu)點(diǎn)是非接觸、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、抗干擾,適應(yīng)性強(qiáng)、速度快等;缺點(diǎn)是測(cè)量成本高、對(duì)環(huán)境要求高等。